Mit Hilfe eines Profilometers lassen sich Oberflächenstrukturen bis in den Nanometerbereich sichtbar machen. Hierzu wird ein Stylus mit sehr feiner Diamantspitze über den zu untersuchenden Probenbereich gerastert und dabei die vertikale Auslenkung detektiert. Je nach Beschaffenheit der zu untersuchenden Schicht können Auflagekräfte im Bereich von 0.05 bis 50 mg appliziert werden.
Es lassen sich auf diese Weise Schichtdicke und Rauigkeitswerte der Probe bestimmen.
Obwohl Profilometer sehr häufig im 2D-Modus eingesetzt werden um Schichtstufen zu vermessen, erlaubt das verwendete Profilometer auch einen 3D Modus, indem die Proben auch komplett in x und y Richtung kartiert und ein 3 dimensionales Bild erzeigt werden kann. Durch Messung und Vergleich von Proben vor und nach einer Beschichtung, können darüber hinaus induzierte Schichtspannungen bestimmt werden.
Das bei Limedion verwendete Profilometer P15 verfügt über zwei optische Videosysteme und erlaubt damit eine sehr präzise Justage des Scankopfes. Das Gerät bietet eine Reproduzierbarkeit von 15A, bzw. 0,25% der Schichtdicke. Die maximale horizontale Scanlänge beträgt unter Verwendung des Standardmeßkopfes 8 cm und läßt sich mittels Widerange-Meßkopf auf 20 cm erweitern, so dass komplette 8" Waferscheiben komplett kartiert werden können.
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Profilometer bei Limedion : KLA-Tencor / P15