Aufdampfen mittels Elektronenstrahl aus 1 oder 2 TiegelnDarstellbar sind dabei Schichten aus Einzelelementen, Legierungen von 2-3 Elementen und Multilagen aus 2-3 Elementen. Typische Probengrößen sind Flachproben bis 200 x 300 mm oder Zylinder oder Kegel bis 200 mm Höhe und 100 mm Durchmesser. Typische Schichtdicken sind 10 nm bis 10 µm.
Wie oben beschrieben, aber das Aufdampfgut wird unter Einleiten von reaktiven Gasen in die Vakuumkammer abgeschieden, wobei sich Verbindungen bilden. Typische Schichten sind Oxide, Nitride und Carbide, z.B. TiN, Al2O3, Wolframcarbid etc. Auch Multischichten wie z. B. Metall/Metallnitrid/Metall etc. sind möglich.
Die IBAD-Beschichtungen werden in den oben erwähnten Vakuumkammern mit Hilfe von zusätzlich installierten Ionenquellen durchgeführt. Die Ionenquellen können ein breites Energiespektrum abfahren, sodass sich die Energieeinträge exakt hinsichtlich einer Prozessoptimierung einstellen lassen. Aufgedampft können Elemente und Legierungen, wobei die Abscheidung auf dem Substrat durch Ionenbeschuss unterstützt oder gesteuert wird. Die Ionen werden mittels Ionenquellen erzeugt. Auch bei diesem Verfahren kann man Verbindungen erhalten, wobei die reaktiven Elemente sowohl als Gase in die Vakuumkammer eingelassen, als auch als reaktive Ionen aus der Ionenquelle extrahiert werden können. Vorteil der IBAD-Methode ist eine verbesserte Schichtadhäsion und eine sehr gute Kontrolle von vielen Schichteigenschaften wie Eigenspannung, Rauhigkeit, Härte usw. Durch Einbau einer Rollcoat-Vorrichtung können auch dünne Metall- und Kunststoffbahnen bis ca. 30 cm Breite kontinuierlich beschichtet werden. Die PVD- und IBAD Beschichtungsverfahren können bei Limedion in Vakuumkammern geführt werden. Die Anlagen sind mit Elektronenstrahlverdampfern ausgestattet, die Schichtdickenmessung erfolgt in situ mittels unabhängiger Schwingquarzsysteme.
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Durch die Kombination von Schichtsynthese, Oberflächenanalytik und Schichtcharakterisierung erfahren Sie bei Limedion aus einer Hand, welchen Nutzen eine Beschichtung Ihres Produktes mit einem bestimmten Material unter verschiedenen Bedingungen bringt.
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